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半導體工藝過程中有機廢氣具有排放風量大、濃度低和成分復雜的特點，使用其它的處理技術難以達到令人滿意的處理效率。比較適用的是吸附——催化燃燒法，目前一些大型半導體企業(yè)已采用……
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